單晶硅是制作電子集成電路的基礎(chǔ)材料.科學家預計,到2011年一個電腦芯片上將會集成10億個晶體管,其功能遠比我們想象的要大得多,這對硅的純度要求很高.用化學方法可制得高純硅,其化學方程式為:
①SiO2+2CSi+2CO↑
②Si+2Cl2SiCl4
③SiCl4+2H2Si+4HCl
其中,反應(yīng)①和③屬于
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