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①沉淀 |
②過濾 |
③曝氣 |
④離子交換 |
⑤消毒 |
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280℃-300℃ |
CuCl |
1100℃ |
物質(zhì) | BCl3 | PCl3 | SiCl4 | AsCl3 | AlCl3 | SiHCl3 |
沸點(diǎn) | 12.1 | 73.5 | 57.0 | 129.4 | 180(升華) | 31.2 |
H2 |
SiHCl3 |
配比 剩余量 溫度 |
50 | 30 | 25 | 20 | 15 | 10 | 5 | 2 |
775℃ | 0.8286 | 0.8476 | 0.8519 | 0.8555 | 0.8579 | 0.8570 | 0.8456 | 0.8422 |
1100℃ | 0.2899 | 0.3860 | 0.4169 | 0.4512 | 0.4895 | 0.5312 | 0.5707 | 0.5710 |
H2 |
SiHCl3 |
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溫度 | 250℃ | 300℃ | 350℃ |
K | 2.041 | 0.270 | 0.012 |
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不純物 | 除雜試劑 | 分離方法 |
苯(苯酚) | ||
乙醇(水) |
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